地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]

3種類のターゲットによって化学組成を制御した非晶質ケイ酸塩の成膜実験(ポスターセッション)(演旨)

論文題名（英語）=Fabrication of amorphous silicate films with various chemical compositions by RF sputtering method with three kinds of targets (poster session)(abs.)

著者（日本語）=高山 亜紀子, 土山 明, 米田 明

著者（英語）=TAKAYAMA Akiko, TSUCHIYAMA Akira, YONEDA Akira

資料名（日本語）=日本鉱物科学会年会講演要旨集

資料名（英語）=Abstracts with Program, Annual Meeting of Japan Association of Mineralogical Sciences

巻=2016

頁=165-165

発行年=2016

発行者（日本語）=日本鉱物科学会

発行者（英語）=Japan Association of Mineralogical Sciences

論文の言語区分=JA

ISSN番号=13486543

DOI=10.14824/jakoka.2016.0_160

ID=201651601

@id=https://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/201651601