地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]
論文題名（英語）=Evaluation of the Cleanliness of Ultrapure Water by the Analysis for Metal Concentration Depositted on Si Wafer Surface Using Vapor Phase Decomposition/Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry
著者（日本語）=加藤 俊正, 星 重行, 野口 俊彦, 中馬 高明
著者（英語）=KATO Toshimasa, HOSHI Shigeyuki, NOGUCHI Toshihiko, CHUUMAN Takaaki
資料名（日本語）=分析化学
資料名（英語）=Bunseki Kagaku
巻=59
号=7
頁=559-563
発行年=2010
出版国=JPN
発行者（日本語）=日本分析化学会
発行者（英語）=Japan Society for Analytical Chemistry
論文の言語区分=JA
アブストラクトの言語区分=EN
ISSN番号=05251931
DOI=10.2116/bunsekikagaku.59.559
ID=201021768