地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]
論文題名（英語）=Microcrystalline Diamond Deposition Using substrates (a-SiC/Si) Treated by Diamond-Paste polishing
著者（日本語）=阿部 俊三, 工藤 啓太, 明日 源太, 半田 浩之, 大羽 克彦, 末光 真希, 佐藤 徳芳
著者（英語）=ABE Toshimi, KUDO Keita, NUKUHI Genta, HANDA Hiroyuki, OHBA Katsuhiko, SUEMITSU Maki, SATO Noriyoshi
資料名（日本語）=東北工業大学紀要 1 理工学編
資料名（英語）=Memoirs of the Tohoku Institute of Technology, Ser.1: Science and Engineering
号=27
頁=11-15
発行年=2007
出版国=JPN
発行者（日本語）=東北工業大学
発行者（英語）=Tohoku Institute of Technology
論文の言語区分=JA
アブストラクトの言語区分=EN
ISSN番号=2853817
ID=200722648