地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]

SORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--(演旨)

著者(日本語)=中野 朝雄

資料名(日本語)=日本鉱物学会年会講演要旨集

資料名(英語)=Annual Meeting Abstracts, Mineralogical Society of Japan

巻=1984

頁=38-39

発行年=1984

出版国=JPN

発行者(日本語)=日本鉱物学会

発行者(英語)=Mineralogical Society of Japan

論文の言語区分=JA

ID=200316904

@id=https://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/200316904