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Geological Literature
SORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--(演旨)
中野 朝雄
itemdescription
TitleSORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--(演旨)
AuthorsJ中野 朝雄
Data nameAnnual Meeting Abstracts, Mineralogical Society of Japan
Volume1984
Page38-39
Year1984
PublisherMineralogical Society of Japan
LanguageJA
GEOLIS URLhttps://darc.gsj.jp/archives/detail?cls=geolis&pkey=200316904
@idhttps://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/200316904