Geological Literature
SORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--(演旨)
中野 朝雄
| item | description |
|---|---|
| Title | SORによるMEデバイスの製造と評価--微細パターン転写と薄膜構造解析--(演旨) |
| AuthorsJ | 中野 朝雄 |
| Data name | Annual Meeting Abstracts, Mineralogical Society of Japan |
| Volume | 1984 |
| Page | 38-39 |
| Year | 1984 |
| Publisher | Mineralogical Society of Japan |
| Language | JA |
| GEOLIS URL | https://darc.gsj.jp/archives/detail?cls=geolis&pkey=200316904 |
| @id | https://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/200316904 |