地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]
論文題名（英語）=Evaluation of an Open-air Silicon Capacitive Micro Accelerometer
著者（日本語）=阿曽 秀明, 西沢 充智, 新妻 弘明
著者（英語）=ASO Hideaki, NISHIZAWA Mitsutomo, NIITSUMA Hiroaki
資料名（日本語）=物理探査学会学術講演会講演論文集
資料名（英語）=Proceedings of the SEGJ Conference
巻=106
頁=101-104
発行年=2002
出版国=JPN
発行者（日本語）=物理探査学会
発行者（英語）=The Society of Exploration Geophysicists of Japan
論文の言語区分=JA
アブストラクトの言語区分=EN
ID=200205442