地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]
論文題名（英語）=Diamond Deposition and Behavior of Atomic Carbon Species in a Low-Pressure Inductively Coupled Plasma
著者（日本語）=伊藤 治彦, 提井 君元, 石川 聖之, 伊藤 昌文, 堀 勝, 竹尾 隆, 加藤 輝政, 後藤 俊夫
著者（英語）=ITO Haruhiko, TEII Kungen, ISHIKAWA Masayuki, ITO Masafumi, HORI Masaru, TAKEO Takashi, KATO Terumasa, GOTO Toshio
資料名（日本語）=名古屋市工業研究所研究報告
資料名（英語）=Research Reports of the Nagoya Municipal Industrial Research Institute
号=84
頁=39-39
発行年=1999
出版国=JPN
発行者（日本語）=名古屋市工業研究所
発行者（英語）=Nagoya Municipal Industrial Research Institute
論文の言語区分=JA
ISSN番号=03693333
ID=200000871