地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]
論文題名（英語）=Characteristics of Silicon Capacitive Accelerometer Developed by Micromachining Technique
著者（日本語）=西沢 充智, 林 根培, 新妻 弘明, 江刺 正喜
著者（英語）=NISHIZAWA Mitsutomo, LIM Geunbae, NIITSUMA Hiroaki, ESASHI Masayoshi
資料名（日本語）=物理探査学会学術講演会講演論文集
資料名（英語）=Proceedings of the SEGJ Conference
巻=98
頁=101-105
発行年=1998
出版国=JPN
発行者（日本語）=物理探査学会
発行者（英語）=The Society of Exploration Geophysicists of Japan
論文の言語区分=JA
アブストラクトの言語区分=EN
ID=199806813