地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]

白金触媒を用いる高性能極薄SiO2/Si構造

論文題名(英語)=High Quality Ultra-Thin SiO2/Si Structure Formed by Use of Platinum Catalyst

著者(日本語)=小林 光

著者(英語)=KOBAYASHI H.

資料名(日本語)=学術月報

資料名(英語)=Japanese Scientific Monthly

巻=53

号=12

頁=1302-1305

発行年=2000

出版国=JPN

発行者(日本語)=日本学術振興会

発行者(英語)=Japan Society for the Promotion of Science

論文の言語区分=JA

ISSN番号=3872440

ID=200101424

@id=https://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/200101424