地質文献データベース (GEOLIS) [(国研)産業技術総合研究所地質調査総合センター編]

マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作

論文題名(英語)=Development of Micro Capacitive Accelerometer for Subsurface Microseismic Measurement

著者(日本語)=西沢 充智, 新妻 弘明, 江刺 正喜

著者(英語)=NISHIZAWA Mitsutomo, NIITSUMA Hiroaki, ESASHI Masayoshi

資料名(日本語)=物理探査学会学術講演会講演論文集

資料名(英語)=Proceeding of the SEGJ Conference

巻=96

頁=35-38

発行年=1997

出版国=JPN

発行者(日本語)=物理探査学会

発行者(英語)=The Society of Exploration Geophysicists of Japan

論文の言語区分=JA

アブストラクトの言語区分=EN

ID=199705924

@id=https://gbank.gsj.jp/ld/resource/geolis/199705924